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1、按照PLC程序抽低真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运行正常后(大约1-2 min),打开通向炉体的低真空阀即上碟阀,预先对炉体抽低真空;
2、 按照PLC程序抽高真空:打开下碟阀,对扩散泵进行抽气,当真空度达到15 Pa以下后,系统自动开启扩散泵进行预热,一般经过45 min左右扩散泵开始其作用,就可以关闭上碟阀,同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上,才可以开启加热按钮对样品进行加热。
真空炉保养可指导设备操作员在职责范围内对设备各点检部位,用正确的检验方法和工具依据点检周期进行设备的日常保养;操作员需每日依据此保养说明书认真填写《热处理设备日常维护保养记录》,并由班组长检查复核,维修员收集存档。全套设备按技术要求安装完毕后,无缺件并有良好的接地时,即可按下列项目进行调试与验收。